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上海深城環(huán)保設(shè)備工程有限公司 創(chuàng)領(lǐng)技術(shù),優(yōu)治廢氣

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半導體廢氣治理

半導體廢氣治理

廢氣組分復雜:廢氣中酸性、堿性和劇毒廢氣成分并存,制程工藝要求廢氣排放壓力平穩(wěn),不得影響生產(chǎn)條件。因此單一廢氣處理工藝難以勝任;

廢氣風量大、濃度低,治理運行成本高:生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的廢氣風量大、濃度低,如果用RTO氧化,則能耗高、運行成本高;如果使用濃縮技術(shù)(如沸石轉(zhuǎn)輪),則濃縮倍數(shù)受限(通常15-25倍),濃縮后VOCs濃度還是達不到RTO能自維持所需的濃度,處理能效比低;

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定制方案與工藝

針對上述痛點,我司推行 “洗滌+過濾+普立凈®分子篩矩陣吸附濃縮+高效電熱RTO氧化”的最優(yōu)技術(shù)路線。
  • 1

    預處理工藝

    針對不同工藝段來的的廢氣組分采取不同的處理工藝,對于無機的酸性氣體和部分劇毒廢氣,可以通過多級化學洗滌去除。廠務匯總處理的廢氣,先過濾微小粉塵,為針對VOCs的深度凈化做準備;
  • 2

    核心凈化單元

    預處理后的廢氣進入我司獨創(chuàng)的 “模塊化分子篩吸附矩陣”,采用改性分子篩固定床吸附模塊,確保廢氣中的VOCs分子能被有效吸附,且不受廢氣濃度波動影響。在分子篩吸附飽和后進行高溫脫附。采用多吸附模塊矩陣的方案,吸附時模塊并列工作,脫附時模塊逐個貫序進行。單個模塊所需脫附風量小,因此與之匹配的電熱RTO也小,采用熱回收設(shè)計,大幅節(jié)省能耗,運行費用低。
  • 3

    終極氧化與節(jié)能

    濃縮后經(jīng)過脫附再生出來的高濃度廢氣進入高效電熱蓄熱式氧化爐(E-RTO),在760℃以上被徹底分解為CO2和H2O,熱能回收率>95%,操作安全,且RTO內(nèi)部熱力場分布均勻,不會因燃燒器局部高溫導致氮氣氧化成NOx。電熱設(shè)計特別適合無天然氣管道或?qū)で蟮吞冀鉀Q方案的客戶,結(jié)合綠電可實現(xiàn)近零碳排。

核心優(yōu)勢

您的行業(yè)廢氣,我們精準破解
服務核心優(yōu)勢
精準吸附
采用復合的分子篩配方,通過適配性研究,可以精準吸附多組分廢氣分子,治理效果不擔憂;
抑平廢氣進氣的波動
獨特的模塊化的多固定床設(shè)計,擁有幾十個裝填多種分子篩組合的類固定床模塊,吸附容量大。幾十個類固定床模塊在脫附階段只有兩個模塊處于脫附階段。其他的還是吸附模式,所以也不會帶來很大的抽風的壓力波動,此工藝可以有效抑平進氣濃度和壓力波動,保障系統(tǒng)常年穩(wěn)定達標運行;
高效節(jié)能
針對性的分子篩組合,通過高吸附率實現(xiàn)對VOCs的高吸附容量以及通過類固定床的分子篩裝填量大(與轉(zhuǎn)輪相比),可增加濃縮倍率,實現(xiàn)廢氣在RTO中自持燃燒,節(jié)省了RTO的能耗,相比傳統(tǒng)大風量RTO,電耗與運行費用綜合降低超過50%。
半導體廢氣治理
全生命周期服務:提供從系統(tǒng)設(shè)計、安裝調(diào)試、性能驗證到長期維護保養(yǎng)的全生命周期服務,成為客戶可靠的長期合作伙伴。

四大核心企業(yè)優(yōu)勢

二十三年專注,鑄就技術(shù)、認證、研發(fā)與經(jīng)驗的全面硬實力
  • 原創(chuàng)技術(shù) | 國際領(lǐng)先
  • 原創(chuàng)技術(shù) | 國際領(lǐng)先
    我們擁有國內(nèi)外首創(chuàng)的“普立凈®分子篩+電熱RTO”原創(chuàng)核心技術(shù)體系,榮獲37項國內(nèi)外發(fā)明專利,被院士專家組評定為“整體技術(shù)達到國際先進水平,兩大核心工藝問鼎國際領(lǐng)先水平”,從根源上解決了傳統(tǒng)工藝無法處理的高沸點、復雜組分VOCs的行業(yè)難題。
  • 權(quán)威認證 | 公信力強
  • 權(quán)威認證 | 公信力強
    公司不僅是高新技術(shù)企業(yè)、上海市專精特新企業(yè),其技術(shù)更入選中華環(huán)保聯(lián)合會《惡臭異味減污降碳協(xié)同創(chuàng)新應用成果推薦目錄》,并獲得上??茖W技術(shù)情報研究所的國際先進水平查新報告,技術(shù)公信力與可靠性有目共睹。
  • 研發(fā)驅(qū)動 | 產(chǎn)學研深度融合
  • 研發(fā)驅(qū)動 | 產(chǎn)學研深度融合
    我們與復旦大學等頂尖高校結(jié)成緊密的產(chǎn)學研合作,由環(huán)境科學領(lǐng)域?qū)<覔问紫茖W家,確保技術(shù)持續(xù)創(chuàng)新與迭代,能夠應對未來更復雜的治理挑戰(zhàn),為客戶提供前瞻性的解決方案。
  • 經(jīng)驗豐富 | 案例成熟可靠
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    公司成立于2002年,擁有23年行業(yè)深耕經(jīng)驗,已完成數(shù)百個廢氣治理項目,服務了包括東風日產(chǎn)、昆侖輪胎在內(nèi)的眾多知名企業(yè),成熟可靠的案例確保了您項目的一次性成功和長期穩(wěn)定運行。
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